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第一章　绪论1

1.1　金刚石薄膜在硬质合金工具制备中的应用1

1.1.1　金刚石材料在刀具制备中的应用1

1.1.2　CVD金刚石薄膜在硬质合金刀具制备中的应用2

1.1.3　CVD金刚石薄膜在拉拔模具制备中的应用5

1.1.4　CVD金刚石薄膜在耐磨器件制备中的应用6

1.2　本书总体思路9

第二章 热丝CVD金刚石薄膜的制备原理及方法10

2.1　金刚石薄膜制备原理10

2.2　影响金刚石薄膜质量的各种主要因素13

2.2.1　衬底材料13

2.2.2　衬底预处理14

2.2.3　衬底表面温度15

2.2.4　碳源浓度15

2.2.5　反应压力16

2.3　热丝CVD微米金刚石薄膜制备及其性能表征17

2.3.1　衬底预处理17

2.3.2　碳源浓度对金刚石薄膜质量的影响19

2.3.3　衬底表面温度对金刚石薄膜质量的影响22

2.3.4　反应压力对金刚石薄膜质量的影响24

2.4　热丝CVD纳米金刚石薄膜制备及其性能表征26

2.4.1　制备方法26

2.4.2　衬底预处理27

2.4.3　Ar浓度对纳米金刚石薄膜质量的影响28

2.4.4　衬底表面温度对纳米金刚石薄膜质量的影响35

2.4.5　反应压力对纳米金刚石薄膜质量的影响37

2.4.6　优化条件下纳米金刚石薄膜表面质量38

2.5　热丝CVD金刚石薄膜的性能表征41

2.5.1　薄膜附着力41

2.5.2　薄膜成分50

2.5.3　薄膜摩擦性能51

2.5.4　薄膜其他性能58

第三章 热丝CVD金刚石薄膜涂层刀具的制备及应用59

3.1 引言59

3.2　热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的制备及应用60

3.2.1　热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的制备装置60

3.2.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的制备工艺及切削性能试验61

3.2.3　热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的应用91

3.3 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的制备及应用91

3.3.1 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的制备装置91

3.3.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的制备工艺94

3.3.3 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的切削性能试验99

3.4 热丝CVD金刚石薄膜涂层小尺寸整体式硬质合金刀具的制备及应用111

3.4.1 热丝CVD金刚石薄膜涂层小尺寸整体式硬质合金刀具的制备111

3.4.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层小尺寸整体式硬质合金刀具的应用112

第四章 热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备及应用118

4.1 引言118

4.2　热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备装置119

4.2.1　大孔径拉拔模具金刚石薄膜涂层制备装置119

4.2.2　小孔径拉拔模具金刚石薄膜涂层制备装置120

4.3　热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备工艺121

4.3.1　衬底预处理121

4.3.2　沉积工艺121

4.3.3　性能表征121

4.3.4　后处理工艺128

4.4　热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的应用129

4.5　热丝CVD金刚石薄膜细长管的制备132

4.5.1　衬底的选择132

4.5.2　制备装置133

4.5.3 圆柱体表面金刚石薄膜涂层的制备工艺及性能表征134

4.5.4　衬底去除方法144

4.5.5　金刚石管质量性能表征145

4.6　热丝CVD金刚石薄膜细长管的应用148

第五章　结论与展望149

5.1　结论149

5.2　展望150

参考文献151