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第1单元 集成电路基础3

1.1 集成电路概述3

1.1.1 晶体管和集成电路的发明3

1.1.2 集成电路的发展与动力3

1.1.3 集成电路的产品族分类5

1.2 集成电路产业链8

1.2.1 集成电路设计业8

1.2.2 集成电路芯片制造业11

1.2.3 集成电路封装业12

1.2.4 集成电路测试业13

单元测试题15

单元测试题答案18

第2单元 集成电路晶圆测试基础21

2.1 硅片21

2.1.1 硅片制备与检测21

2.1.2 半导体材料与特性24

2.2 晶圆27

2.2.1 晶圆的表形构成27

2.2.2 晶体管基本原理和结构29

2.2.3 集成电路基本原理和结构36

2.3 晶圆测试项目65

2.3.1 性能参数测试项目65

2.3.2 微电子测试结构图66

2.4 晶圆测试设备70

2.4.1 手动探针测试台71

2.4.2 自动探针测试台73

2.5 晶圆测试操作77

2.5.1 手动探针台测试操作78

2.5.2 自动探针台测试操作79

单元测试题81

单元测试题答案87

第3单元 集成电路成品测试基础91

3.1 集成电路封装体91

3.1.1 集成电路的封装形式91

3.1.2 集成电路封装外引脚95

3.1.3 半导体集成电路型号命名97

3.2 成品测试基础99

3.2.1 测试基本问题99

3.2.2 测试主要项目104

3.2.3 测试基本方法106

3.2.4 集成电路自动测试平台简介108

3.3 自动测试设备（Advantest公司的专供资料）108

3.3.1 ATE的基本组成108

3.3.2 ATE的基本操作113

3.3.3 软件调试工具的初步使用115

3.4 自动分选机121

3.4.1 自动分选机的基本组成122

3.4.2 自动分选机的基本操作124

3.5 成品测试实例125

3.5.1 成品测试前准备工作125

3.5.2 成品测试步骤129

单元测试题131

单元测试题答案134

知识考核模拟试卷137

知识考核模拟试卷答案141

技能考核模拟试卷142

技能考核模拟试卷评分表与答案143

索引——汉英术语对照145