图书介绍

等离子体技术与应用实验教程2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

马志斌，付秋明，郑志荣编著著
出版社：北京：化学工业出版社
ISBN：9787122216045
出版时间：2014
标注页数：169页
文件大小：35MB
文件页数：176页
主题词：等离子体－实验－高等学校－教材

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图书目录

第一部分：等离子体基本原理实验1

实验一直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量1

实验二气体击穿电压的测定及帕邢定律验证10

实验三汤森第一电离系数α及比值α/p的测定15

实验四直流辉光放电等离子体参数的测量19

实验五射频等离子体的激发特性研究25

实验六非磁化微波等离子体电子参数的测量29

实验七ECR微波等离子体离子参数的测量33

第二部分：等离子体在材料工程中的应用39

实验八微波等离子体化学气相沉积实验——形核研究39

实验九微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜实验44

实验十直流等离子体溅射制备碳膜实验49

实验十一微波等离子体烧结氧化铝陶瓷实验56

实验十二微波等离子体冶金实验62

实验十三常压微波等离子体引发聚合实验67

实验十四微波等离子体射流制备纳米硅及其荧光特性研究72

实验十五直流辉光等离子体表面改性实验78

实验十六等离子体渗氮硬化金属表面实验85

实验十七微波等离子体化学气相沉积法低温合成碳纳米管92

实验十八纳米TiO2薄膜的微波等离子体改性99

实验十九空心微珠表面磁控溅射镀金属铜膜104

第三部分：等离子体在微电子中的应用113

实验二十ECR微波等离子体刻蚀加工实验113

实验二十一微波等离子体CVD制备多晶硅薄膜太阳能电池实验117

实验二十二等离子体发射光谱分析实验126

实验二十三电子束蒸发镀膜与薄膜光学特性分析134

第四部分：等离子体在环境工程中的应用143

实验二十四电晕等离子体处理有机废水的退色实验143

实验二十五电晕等离子体处理对有机废水化学需氧量（COD）的影响150

实验二十六常压微波等离子体射流处理有机工业废气实验154

实验二十七常压微波等离子体射流处理含硫废气实验158

实验二十八低温射频等离子体杀菌消毒实验165