图书介绍

微电子测试结构2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

孙为编著
出版社：上海：华东师范大学出版社
ISBN：15135·003
出版时间：1984
标注页数：177页
文件大小：6MB
文件页数：183页
主题词：

PDF下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快]温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页直链下载[便捷但速度慢] [在线试读本书] [在线获取解压码]

点击复制MD5值：c2956052bcbb9aea0a48d7735404da18

下载说明

微电子测试结构PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

点击复制85GB完整离线版磁力链接到迅雷FDM等BT下载工具进行下载详情点击-查看共享计划

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数要大于标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

图书目录

第一章薄层电阻测试结构及其应用1

§1.1薄层电阻测试结构的基本原理1

目录1

§1.2四端十字形测试结构6

§1.3薄层电阻测试结构的测试方法14

§1.4六种薄层电阻测试结构测量结果的比较16

§1.5薄层电阻测试结构的应用实例23

§1.6测量体电阻率的平面四探针测试结构28

§2.1掩模套准误差的分析36

第二章掩模套准测试结构36

§2.2掩模套准测试结构42

§2.3掩模套准误差测试实例47

第三章金属—半导体接触电阻测试结构56

§3.1接触电阻和接触电阻率56

§3.2接触电阻测试结构58

§3.3平面接触和传输线模型61

§3.4铝—硅和铝—多晶硅接触电阻测量结果一例69

§3.5单窗口测试结构在工艺控制中的应用实例74

§4.1用于工艺分析及评价的随机缺陷测试结构79

第四章随机缺陷测试结构79

§4.2硅栅CMOS/SOS工艺的分析和评价82

§4.3最佳设计规则90

§4.4类存储器随机缺陷测试结构94

第五章 MIS结构在半导体工艺检测中的应用100

§5.1MIS结构表面场效应简述100

§5.2MIS结构在工艺检测中的应用104

§5.3MIS结构C-V技术中应注意的几个问题114

第六章集成栅控二极管测试结构122

§6.1栅控二极管122

§6.2集成栅控二极管测试结构129

第七章栅控晶体管和四极晶体管测试结构138

§7.1栅控晶体管的特性分析138

§7.2栅控晶体管试验实例141

§7.3用四极晶体管区分表面复合和体内复合147

§7.4用四极管测量发射区下基区的薄层电阻及预示器件的可靠性152

第八章测试结构参数的自动测量系统156

§8.1四探针二方位自动测试156

§8.2探卡与测试图形压点的标准化158

§8.3测试图形参数自动测量的计算机控制164

附录168