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第一章 氧气1

1.1 氧分子结构1

1.2 氧气的物理性质2

1.3 氧气的化学性质11

1.4 氧气的制法14

1.5 氧气的应用17

第二章 氮气23

2.1 氮分子结构23

2.2 氮气的物理性质24

2.3 氮气的化学性质31

2.4 氮气的制法33

2.5 氮气的应用34

第三章 氢气36

3.1 氢分子结构36

3.2 氢气的物理性质37

3.3 氢气的化学性质44

3.4 氢气的制法49

3.5 氢气的应用55

第四章 一氧化碳和二氧化碳62

4.1 一氧化碳62

4.2 二氧化碳72

第五章 氮化物气体85

5.1 氨85

5.2 氧化二氮95

5.3 一氧化氮100

5.4 二氧化氮105

第六章 稀有气体109

6.1 稀有气体的概况109

6.2 氦气114

6.3 氖气123

6.4 氩气129

6.5 氪气139

6.6 氙气145

6.7 氡气163

第七章 硼化物气体168

7.1 乙硼烷168

7.2 三氯化硼172

7.3 三氟化硼176

7.4 三溴化硼176

第八章 磷化物气体182

8.1 磷烷182

8.2 三氯化磷186

8.3 三氟化磷189

8.4 五氟化磷191

8.5 三氯氧磷193

8.6 三溴化磷195

第九章 砷化物气体197

9.1 砷烷197

9.2 三氯化砷202

9.3 三氟化砷206

9.4 五氟化砷209

第十章 氯及氯化物气体211

10.1 氯气211

10.2 氯化氢219

10.3 四氯化硅224

10.4 三氯氢硅228

10.5 二氯氢硅232

10.6 四氯化碳235

10.7 四氯化钛237

10.8 四氯化锡239

10.9 四氯化锗241

第十一章 氢化物气体243

11.1 硅烷243

11.2 乙硅烷248

11.3 锗烷250

11.4 硒烷252

11.5 氢化碲256

11.6 氢化锑257

11.7 溴化氢258

11.8 硫化氢262

第十二章 氟化物气体270

12.1 四氟化碳270

12.2 四氟化硅274

12.3 六氟乙烷278

12.4 八氟丙烷280

12.5 氟化氢282

12.6 六氟化硫285

12.7 三氟化氮286

第十三章 卤化碳气体287

13.1 三氟甲烷287

13.2 五氟氯乙烷290

13.3 二氟二氯甲烷292

13.4 一氟三氯甲烷295

13.5 三氟一氯甲烷296

第十四章 有机化合物气体301

14.1 三甲基镓和三乙基镓301

14.2 三甲基铝、三乙基铝和三丁基铝302

14.3 二甲基锌和二乙基锌304

14.4 二甲基隔和二乙基镉305

14.5 三甲基铟和三乙基铟306

14.6 三甲基锑和三乙基锑306

14.7 甲烷308

14.8 乙烷313

14.9 乙炔317

14.10 乙烯321

第十五章 气体的一般换算327

15.1 气体体积换算成标准状况327

15.2 气体的重量与体积的计算329

15.3 气体混合物比重和气体容量分析中的基本计算330

15.4 气体的几种浓度表示法332

15.5 体积浓度之间的换算335

15.6 例题计算337

15.7 常用物理量及其换算345

第十六章 气体的纯度及其对产品质量的影响358

16.1 气体的纯度及其表示法358

16.2 气体中的杂质359

16.3 集成电路对气体纯度的要求360

16.4 我国半导体工业用气体产品369

16.5 国外半导体工业用气体品种及技术指标374

16.6 气体来自容器的杂质沾污及防污染措施389

第十七章 气体的纯化剂、纯化装置及净化方法392

17.1 气体的纯化剂392

17.2 气体纯化装置437

17.3 气体的净化方式及操作要点457

第十八章 气体的传输要求及控制装置479

18.1 气体来自传输过程中的杂质污染479

18.2 气体输运过程中的气密性485

18.3 气体传输系统金属化及洁净处理487

18.4 气体传输系统中的接头490

18.5 气体传输系统中的阀门492

18.6 气体传输系统的检漏与净化处理494

18.7 阀门和容器阀门496

18.8 减压器501

18.9 气体压力表507

18.10 过流控制器509

18.11 质量流量控制器510

18.12 微型转子气体流量计514

18.13 吹洗装置521

第十九章 气体的监测及分析525

19.1 气体监测和分析的重要性525

19.2 工艺气体的控制526

19.3 工艺气体的监测529

19.4 气体分析方法及分析仪器532

19.5 气相色谱法535

19.6 质谱仪分析法540

19.7 微量水的测定方法555

19.8 微量氧的测定方法559

19.9 光谱法561

19.10 气体中金属离子的分析564

19.11 气体中灰尘的测量565

19.12 高纯气体分析中的几个关键567

19.13 标准气体的配制570

19.14 气体检测试纸、检气管和有毒气体的测定方法574

第二十章 气体灾害及安全使用598

20.1 可燃气体或蒸气598

20.2 气体灾害的分类604

20.3 高压气体容器引起的灾害606

20.4 高压气体设备的灾害609

20.5 高压氧气管道的燃烧事故611

20.6 钢瓶充气应注意的事项616

20.7 充气容器的贮存注意事项618

20.8 气体容器的搬运注意事项619

20.9 高压气体的使用安全621

20.10 输氧管道的防灾措施627

20.11 气体操作室和用气设备的注意事项628

20.12 气体泄漏处理的注意事项629

20.13 废气处理应注意事项631

20.14 火灾时的紧急处理638

20.15 中毒时的紧急处理639

20.16 排毒与通风648

附录656

附表-1 共价单键的键矩656

附表-2 在气相中分子的偶极矩657

附表-3 标准状况下，气体的粘性系数和分子直径658

附表-4 一些气态物质(在1个大气压时)的摩尔热容Cp659

附表-5 各种气体的介电常数(在一个大气压下)660

附表-6 无机液态气体的介电常数661

附表-7 一些气态物质(1大气压，298.2k时)的热力学函数662

附表-8 一些气态物质的自由能函数-(G°-H°0)/T和△H°0664

附表-9 不同温度下某些气体在水中的亨利常数(Kx×10-7)665

附表-10 气体和固体反应的速率常数k666

附表-11 某些气体反应的平衡常数670

附表-12 气体一些自由基反应的速率常数673

附表-13 气--固催化反应675

附表-14 气相光化学反应683

附表-15 气相快速反应684

附表-16 真实气体的逸度系数r值686

附表-17 元素与气体和液体的反应689

附表-18 气体系统在化学气相淀积无机涂层材料中的应用707

附表-19 半导体气敏材料用于检测气体的种类710

附表-20 空气的物理化学常数712

附表-21 干燥空气平均成分713

附表-22 不同温度下空气的密度(1个大气压下)714

附表-23 使空气饱和的水蒸气含量715

附表-24 露点温度与含水量对照表717

附表-25 露点和含水量(PPm)719

附表-26 空气在水中的溶解度719

附表-27 空气的导热系数720

附表-28 空气的粘度720

附表-29 空气的比热和热容比721

附表-30 空气中微粒的分类722

附表-31 微尘的种类和粒径724

附表-32 空气中含有的生物微粒724

附表-33 生物微粒标准的参考值725

附表-34 一部分国家大气尘标准726

附表-35 美国某公司集成电路生产的环境指标727

附表-36 美国联邦标准(FS209E)728

附表-37 国际空气洁净度标准(草案)729

附表-38 《空气洁净技术措施》的空气洁净度级别729

附表-39 美国宇航标准中的洁净度级别729

附表-40 空气过滤器分类、性能和用途730

附表-41 高压气瓶的漆色和标志731

附表-42 气体容器的材质及规格734

附表-43 常用压缩气体和液化气体的设计压力735

附表-44 液化气的充填常数736

附图1 压缩因子图738

附图2 气体的焓与对比温度和对比压力的关系740