图书介绍

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纳机电系统
  • （法）劳伦·特拉夫格，朱利安·阿尔卡莫内著；曹峥译 著
  • 出版社： 北京：机械工业出版社
  • ISBN：9787111591276
  • 出版时间：2018
  • 标注页数：134页
  • 文件大小：1MB
  • 文件页数：11页
  • 主题词：纳米技术－应用－机电系统－研究

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图书目录

第1章 从MEMS到NEMS1

1.1 微纳机电系统：概述1

1.2 小结7

第2章 纳米尺度上的转导与噪声的概念9

2.1 机械传递函数9

2.2 转导原理14

2.2.1 纳米结构的驱动15

2.2.2 检测21

2.3 自激振荡与噪声34

2.4 小结39

第3章 NEMS与其读出电路的单片集成41

3.1 简介41

3.1.1 为什么要将NEMS与其读出电路进行集成41

3.1.2 MEMS-CMOS与NEMS-CMOS之间的区别42

3.2 单片集成的优势与主要途径43

3.2.1 集成方案及其电气性能的比较43

3.2.2 闭环NEMS-CMOS振荡器：构建基于NEMS的频率传感器的必不可少的组成模块46

3.2.3 从制造技术的角度概述主要成就47

3.3 从转导的角度对一些显著成就的分析51

3.3.1 电容式NEMS-CMOS的案例51

3.3.2 压阻式NEMS-CMOS的案例55

3.3.3 替代途径58

3.4 小结与未来展望59

第4章 NEMS与尺度效应60

4.1 简介60

4.1.1 固有损耗64

4.1.2 外部损耗65

4.2 纳米结构中的近场效应：卡西米尔力69

4.2.1 卡西米尔力的直观解释69

4.2.2 问题70

4.2.3 两个硅板之间卡西米尔力的严格计算72

4.2.4 纳米加速度计内卡西米尔力的影响76

4.2.5 本节小结79

4.3 “固有”尺度效应的示例：电传导定律80

4.3.1 电阻率80

4.3.2 压阻效应85

4.4 光机纳米振荡器和量子光机93

4.5 小结101

第5章 结论与应用前景：从基础物理到应用物理102

附录114

附录A 针对纳米线的“自下而上”和“自上而下”制造工艺114

A.1 “自下而上”制造114

A.2 “自上而下”制造116

附录B 卡西米尔力详述117

参考文献119

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