图书介绍

刻划照相光刻2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

曹向群等著著
出版社：上海：上海科学技术出版社
ISBN：7532335976
出版时间：1995
标注页数：505页
文件大小：20MB
文件页数：513页
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图书目录

第一章机械刻划工艺1

第一节机械刻划工艺的发展概况1

第二节工艺流程9

第三节刻划刀具21

第四节特种刻划零件实例26

第二章刻划设备42

第一节长刻线机主要部件42

第二节长刻线机精度问题49

第三节激光定位长刻线机57

第四节圆刻线机组成61

第五节提高精度的途径72

第三章光学照相工艺总论92

第一节照相工艺的发展92

第二节光学照相工艺的特点94

第三节常用术语100

第四节光学照相车间的设计和要求108

第四章照相底板的制作113

第一节照相底板的制作方法113

第二节制版照相机的结构及其调校116

第三节照相底图的制作127

第四节照相制版镜头134

第五节制版的感光材料153

第一节基本工艺194

第五章照相复制194

第二节照相复制感光胶210

第三节照相复制的工艺类别240

第四节直接光刻法263

第六章微细光刻技术283

第一节光刻原理283

第二节光致抗蚀剂287

第三节光刻技术295

第四节光刻设备304

第五节光学检测设备321

第一节微型机械326

第七章立体光刻326

第二节微光学332

第三节 LIGA(X 射线深层光刻)技术339

第四节立体光刻成型技术347

第八章长度检定371

第一节长度检定的发展概况371

第二节长度检定377

第三节常用计量仪器398

第九章角度检定434

第一节角度检定的发展概况434

第二节测量术语437

第三节常角法检验449

第四节比较法468