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目录1

第一章 概述1

一、表面光洁度的基本概念3

二、表面光洁度的作用4

三、表面光洁度的评定和分级5

第二章 光切显微镜的构造原理13

一、光切显微镜的原理14

1．光切法原理14

2．光切显微镜原理15

3．光切显微镜的测量原理17

二、光切显微镜的光学系统18

1．光切显微镜的光学原理18

2．光切显微镜的测量范围21

4．物镜的放大率24

3．物镜的光学简长为∞的意义24

5．狭缝弯曲的作用26

6．仪器测量误差的估算27

三、光切显微镜的结构32

1．测微目镜35

2．壳体35

3．显微镜升降微动机构35

4．工作台37

第三章 光切显微镜的使用40

一、操作方法40

1．操作步序40

2．目镜视场中狭缝、十字线、工作台、工件表面之间相互关系42

3．XSG型光切显微镜操作方法44

二、物镜放大率的选择和确定46

1．物镜放大率的选择46

2．物镜放大率的确定46

3．仪器常数C值的确定48

三、测量和计算49

1．用表征参数Rz评定表面光洁度49

2．用图表方法测量表面光洁度51

3．用表征参数Rz评定表面光洁度52

四、照相方法测量表面光洁度54

1．照相操作方法55

2．照相放大率M的确定55

3．曝光时间55

4．用表征参数Rz测量表面光洁度56

5．用表征参数Ra测量表面光洁度57

五、印模方法测量表面光洁度58

六、几种特殊使用方法60

1．圆柱、圆锥和球形表面光洁度测量60

2．槽宽测量61

3．高度测量62

4．薄膜厚度测量63

5．小工件角度测量64

第四章 光切显微镜的检修与维护66

一、装校的大致步序和方法66

1．照明系统校正66

2．成象系统校正67

3．照相反射镜校正67

4．目镜分划板轴向位置、照相物镜校正69

5．校正物镜组69

二、主要检定项目和修理方法71

三、其他故障修理方法76

四、仪器的维护与保养78

第五章 干涉显微镜的构造原理79

一、干涉条纹是怎样产生的79

1．光波的干涉现象79

2．双光束干涉显微镜的产生83

3．干涉显微镜的原理86

4．干涉显微镜中的瞳窗和条纹的产生88

二、干涉条纹的定位91

1．定位面的确定92

2．在仪器上的定位面94

三、干涉条纹的宽度与方向95

1．条纹宽度和转动角度的关系96

2．条纹的方向98

四、干涉条纹的颜色99

1．彩色的由来99

2．在仪器中的干涉条纹的颜色100

五、干涉条纹的对比101

1．两束相干光的强度对对比的影响101

2．两束相干光不一致的影响103

3．杂光的影响104

六、狭缝目镜的原理105

1．光束倾斜的校正因子108

七、干涉显微镜中的某些问题108

2．关于干涉显微镜的视场、放大率和数值孔径111

3．干涉显微镜的精度分析113

八、干涉显微镜的构造原理119

1．工作台120

2．主体121

3．微调部分122

第六章 干涉显微镜的使用126

一、操作方法126

1．具体操作步序128

2．不同反射率的参考反射镜的使用130

3．狭缝目镜的使用131

4．大工件测量时操作方法132

二、测量和计算132

1．用表征参数Rz测量表面光洁度133

2．测量中几个问题讨论135

三、照相方法测量表面光洁度137

四、几种特殊测量方法138

1．圆柱表面光洁度测量138

2．小工件曲率半径测量140

3．粒状和低反射率工件表面光洁度测量140

4．印模法测量表面光洁度142

5．等黑度法测量表面光洁度142

6．半导体零件测量144

7．小零件的微小角度测量145

第七章 干涉显微镜的检修与维护147

一、装校步序和方法147

二、主要检定项目和调整、修理方法151

1．条纹清晰度151

2．条纹颜色151

3．条纹弯曲度152

5．工作台表面跳动153

4．条纹调节机构153

6．工作台轴向窜动154

7．工作台表面和光轴的垂直度154

8．摄影装置155

9．仪器示值精度155

三、常见故障和修理方法156

1．微调座中参考光路的调焦机构失效156

2．条纹宽度调不狭158

3．干涉条纹漂移或跳跃158

4．干涉条纹调宽度时，条纹产生倾斜158

5．调节条纹宽度时，条纹中心位移159

6．条纹呈阶梯形159

7．视场里刀口象位置不对，或目镜头转动时刀口象位移160

8．视场中干涉条纹调不宽160

四、仪器的维护与保养160