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（下）1025

战略展望1025

关于摩尔定律延伸的探讨1025

微电子技术发展与物理学1033

GMR生物传感器研究进展1046

从ULSI芯片的性能能量效率展望21世纪信息电子学的发展1053

器件物理1077

溶胶凝胶法制备的Mn掺杂BST薄膜的XPS特性1077

用于MEMS的（100）取向PZT薄膜的制备1084

溶胶凝胶法制备的硅基BST薄膜的特性1091

用于集成器件的硅基压电薄膜的制备和刻蚀1098

薄膜体声波谐振器的建模和仿真1105

厚度均匀的BST铁电厚膜及其在射频MEMS器件中的应用1112

氧注入制作的SOI中埋氧热导率的测量1121

Mn掺杂BST薄膜的制备与表征1126

溶胶凝胶法制备的Mn掺杂BST薄膜的特性1132

局部注氧隔离制作的新型DSOI MOSFET的热学特性研究1137

硅基PLZT厚膜的制备和特性研究1143

DSOI,SOI和体硅MOSFET的特性测量比较1150

用于FeFET的PZT基MFS结构1157

剥离法制作高品质PZT厚膜1164

用于MFSFET的硅基PLZT薄膜的制备和特性1171

多层Ge量子点的光学特性和结构研究1178

集成电路技术1185

一种多分辨率组合的模糊神经网络分类器1185

模拟神经元电路实现研究现状与进展1197

一种基于超盒表示的规则提取方法1215

用于规则模式分类的模糊Petri网1225

使用学习样本构建的模糊控制系统在倒立摆中的应用1234

用于MFSFET的硅基PZT薄膜的制备和特性1239

一种模拟自适应模糊控制器的设计1246

基于电荷泵实现的模糊控制器去模糊电路设计1256

新结构重心法去模糊单元电路设计1262

系统集成技术1271

高灵敏度微机械薄膜的设计、模拟与优化1271

梁式铁电－硅微麦克风和扬声器的设计优化1281

超声波激励的（100）硅各向异性腐蚀研究1288

具有高灵敏度圆形纹膜的单芯片电容式微麦克风1297

硼预淀积对自组织生长Ge量子点尺寸分布的影响1305

溶胶凝胶法铁电三明治结构的制备和表征1312

硅基衬底Ba0.5Sr0.5TiO3厚膜制备的sol-gel新方法1319

新型非平面振膜电容式换能器的比较研究1326

用于FeRAM的高品质铁电电容1335

一种新型的单FET铁电非挥发存储器的单元和阵列结构1341

具有PZT薄膜驱动悬臂式微镜的新型微光学开关阵列1346

硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究1353

使用DRIE和背面刻蚀技术的单芯片电容式微麦克风1361

体声波滤波器的表面微加工1373

PZT基射频滤波器的优化1380

一种新型的铁电微麦克风1387

大束流Co离子注入形成CoSi2/Si Schottky结的特性1392

微电子应用中的压电和铁电薄膜1398

用于射频通讯的PZT的高频特性1407

基于硅基铁电薄膜的微麦克风1413

三轴压电加速度计的设计1419

局部注氧隔离制作的DSOI MOSFET的实验结果1426

用于射频领域的高调节范围MEMS压控电容1435

基于高品质PZT的压电微麦克风的制作1441

用于MEMS硅模技术制备的高品质PZT厚膜1448

Ni81Fe19层厚度对自旋阀巨磁电阻性能的影响1454

用于集成磁传感器的热稳定巨磁电阻自旋阀D1457

用于衬底隔离的选择性氧化多孔硅厚膜的制备1461

热环境对微机械多晶硅薄膜电阻电特性的影响1464

多孔硅作为牺牲层的镂空氧化物薄膜上平面线圈的制作1472

通过控制Si的浓度实现具有均匀形状和大小的自组装SiGe岛1481

高介电常数介质RF MEMS开关的制作研究1486

硅基微波和射频MEMS器件制作中的关键技术1492

具有复合薄膜的压控电容研究1501

利用新型建模方法进行线圈电感调谐的RF MEMS旁路开关设计1509

用于铁电存储器的反应离子刻蚀和离子束刻蚀1517

硅基铁电器件中的关键集成技术和问题1523

铁电－硅集成微麦克风和扬声器研究1533

三极板型RFMEMS压控电容的分析与制作1542

RIE对巨磁电阻自旋阀磁性能的影响1545

氧化多孔硅上制作Cu电感的研究1551

两侧下拉电极MEMS压控电容的分析和优化1557

高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究1569

一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作1578

斜拉梁结构的RF-MEMS开关制作研究1587

一种X波段RF MEMS开关的设计与制作研究1593

高灵敏度简单自旋阀中GMR和NiFe层厚度的关系1600

介质表面形貌对射频微机械开关隔离度的影响1607

高阻衬底上双层线圈大值电感研究1614

旁路电容式RF MEMS开关的可靠性研究1622

SP4T RF MEMS开关的键合封装1630

低损耗衬底上的一种无源低通滤波器1638

基于压电薄膜的微声学器件1647

PZT基超声换能器性能一致性的改进1657

应用于0～10GHz的介质桥膜型MEMS串联接触开关1665

一种旁路电容式RF MEMS开关的动态特性研究1672

应用改进结构的超薄单晶硅薄膜热导率的测量1678

使用传统光刻和气体各向同性刻蚀的氮化硅纳米机械结构的制作1685

多层复合结构应变硅材料的生长和特性1692

一种新型三谐振点电容式RF MEMS开关1700

PZT基微麦克风阵列的方向性优化1706

退火温度对溅射法制备的PZT薄膜性能的影响1715

一种SiON介质桥膜结构的串联接触MEMS开关的实现1723