图书介绍

基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究

王璐著著
出版社：哈尔滨：黑龙江大学出版社
ISBN：9787811295009
出版时间：2013
标注页数：273页
文件大小：29MB
文件页数：283页
主题词：脉象仪－研究

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图书目录

第1章概述1

1.1引言1

1.2脉象传感器的分类和研究现状3

1.3 MOSFET压力传感器的研究现状23

1.4纳米硅/单晶硅异质结研究现状36

1.5纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感与检测系统的研究目的和意义41

1.6主要研究内容45

第2章纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的理论分析与结构设计47

2.1 MOSFETs硅脉象传感器的理论模型48

2.2 MOSFETs硅脉象传感器的理论分析49

2.3半导体材料压阻效应基本理论54

2.4纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器力敏结构设计65

2.5纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器结构模型108

2.6本章小结110

第3章纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺112

3.1纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺112

3.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构123

3.3纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器电源激励方式127

3.4本章小结131

第4章纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的实验结果与讨论132

4.1纳米硅/单晶硅异质结P-MOSFET特性132

4.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的静态特性研究153

4.3悬臂梁式纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的测试177

4.4纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的温度特性178

4.5本章小结187

第5章纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测的系统设计与实测结果分析190

5.1纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的概述191

5.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统各功能模块的设计192

5.3纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的脉象检测结果203

5.4采用人工神经网络处理脉象检测结果210

5.5本章小结251

结论253

参考文献258

后记272