图书介绍

光学薄膜激光损伤及激光预处理2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

李笑著著
出版社：北京：北京邮电大学出版社
ISBN：9787563545858
出版时间：2015
标注页数：213页
文件大小：20MB
文件页数：223页
主题词：光学薄膜－激光损伤－预处理－研究

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图书目录

第1章光学薄膜激光诱导损伤机理1

1.1 光学薄膜激光诱导损伤机理概述1

1.1.1 光学薄膜的本征吸收1

1.1.2 杂质吸收2

1.1.3 雪崩离化3

1.1.4 多光子吸收4

1.1.5 热力耦合损伤模型6

1.2 光学薄膜激光损伤的电磁场分布理论7

1.2.1 光学薄膜中的电磁场分布理论8

1.2.2 常用光学薄膜中的电场分布9

1.3 光学薄膜激光损伤的温度场分布理论12

1.3.1 光学薄膜激光损伤温度场理论模型12

1.3.2 温度场理论的应用14

1.4 光学薄膜激光损伤的杂质吸收理论19

1.4.1 光学薄膜中的杂质缺陷19

1.4.2 光学薄膜损伤的杂质吸收理论20

1.4.3 杂质诱导的电场增强22

1.5 杂质诱导光学薄膜激光损伤的热力学过程23

1.5.1 受内压球壳模型23

1.5.2 杂质诱导相变热力耦合损伤理论25

参考文献27

第2章光学薄膜激光损伤测试方法32

2.1 损伤阈值测试规范32

2.1.1 损伤阈值测试的重要概念33

2.1.2 损伤阈值测试方式34

2.1.3 损伤阈值的确定36

2.2 光学薄膜激光损伤阈值测试系统37

2.2.1 损伤测试原理及装置37

2.2.2 对仪器的具体要求38

2.3 光学薄膜激光损伤阈值测试过程40

2.3.1 测试前的准备工作40

2.3.2 1-on-1损伤阈值测试过程45

2.3.3 S-on-1损伤阈值测试过程46

参考文献50

第3章典型光学薄膜的激光损伤特性53

3.1 光学薄膜损伤的几种不同效应53

3.1.1 光斑尺寸效应53

3.1.2 脉冲效应55

3.1.3 脉宽效应55

3.1.4 波长效应57

3.2 高反射膜的激光损伤特性57

3.3 减反射膜的激光损伤特性66

3.4 偏振膜的激光损伤特性74

3.5 三倍频膜的激光损伤特性77

3.6 真空环境下的薄膜损伤简介80

参考文献88

第4章光学薄膜激光预处理技术93

4.1 光学薄膜激光预处理技术概述93

4.2 光学薄膜激光预处理机理94

4.2.1 电子杂质缺陷模型94

4.2.2 表面平滑模型97

4.2.3 缺陷清除机制98

4.2.4 激光加热退火模型100

4.3 激光预处理的实现方法100

4.4 典型光学薄膜的激光预处理107

4.4.1 HfO2/SiO2多层膜的激光预处理107

4.4.2 LaF3/MgF2介质薄膜的激光预处理119

4.4.3 Y2O3/SiO2薄膜的激光预处理126

4.4.4 熔石英的激光预处理128

4.5 CO2激光预处理光学薄膜133

4.5.1 CO2激光预处理ZrO2单层膜134

4.5.2 CO2激光预处理ZrO2/SiO2多层膜137

4.5.3 CO2激光预处理HfO2/SiO2基频高反射膜138

4.5.4 CO2激光预处理351 nm Y2O3/SiO2增透膜140

参考文献145

第5章光学薄膜激光预处理技术的应用150

5.1 激光薄膜中缺陷的分类及分布模型150

5.1.1 光学薄膜中缺陷的分类150

5.1.2 缺陷均匀分布模型152

5.1.3 缺陷概率分布模型158

5.2 多光斑拟合与多光斑损伤测试方法159

5.2.1 多光斑拟合方法160

5.2.2 多光斑损伤测试方法160

5.3 典型薄膜的光斑效应实验161

5.3.1 单层膜的光斑效应161

5.3.2 多层膜的光斑效应161

5.4 光学薄膜中损伤缺陷的研究方法164

5.4.1 利用全内反射显微镜研究缺陷165

5.4.2 利用缺陷的特征参数研究缺陷168

5.5 采用光斑效应和激光预处理结合研究缺陷178

5.5.1 HfO2单层膜中的缺陷178

5.5.2 SiO2单层膜中的缺陷181

5.5.3 HfO2/SiO2高反射膜中的缺陷185

5.5.4 ZrO2/SiO2高反射膜中的缺陷186

参考文献188

第6章飞秒脉冲激光诱导薄膜损伤简介192

6.1 飞秒激光的产生192

6.2 光学薄膜在飞秒激光器中的应用196

6.3 飞秒激光在微加工中的应用198

6.4 飞秒激光的损伤机理199

6.4.1 飞秒激光与固体介质作用的物理过程199

6.4.2 飞秒激光与固体作用的介质能量吸收与传导202

6.4.3 飞秒脉冲激光作用下光学薄膜的损伤机理204

6.4.4 飞秒脉冲激光作用下薄膜损伤阈值的特点207

参考文献210