图书介绍
国外大规模集成电路基础材料2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载
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- 上海科学技术情报研究所编 著
- 出版社: 上海:上海科学技术文献出版社
- ISBN:15192·9
- 出版时间:1979
- 标注页数:52页
- 文件大小:4MB
- 文件页数:58页
- 主题词:
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图书目录
硅材料1
扩散源7
光刻胶16
掩模版22
超纯水28
超纯气体33
超纯化学试剂37
空气净化40
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