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第1章 绪论1

1.1引言1

1.2纳米压印技术2

1.2.1纳米压印技术的发展2

1.2.2纳米压印技术的分类5

1.2.3纳米压印技术的研究内容6

1.3纳米压印关键性技术7

1.3.1模板8

1.3.2压印胶8

1.3.3压印过程缺陷9

1.3.4对准套刻工艺9

1.3.5三维结构压印9

1.3.6刻蚀结构转移10

1.4纳米压印技术的研究现状和趋势10

1.4.1国内外文献分析11

1.4.2国内外专利分析12

1.4.3国外纳米压印设备介绍15

1.5纳米压印技术的应用与前景15

1.6本书的章节安排16

参考文献17

第2章 模板制备18

2.1概述18

2.2制备模板的材料18

2.3制备模板的方法20

2.3.1电子束光刻20

2.3.2离子束光刻26

2.3.3极紫外光刻27

2.3.4 X射线光刻27

2.3.5激光全息光刻28

2.3.6单层纳米球刻印术28

2.3.7边缘光刻29

2.3.8化学气相沉积31

2.3.9湿法刻蚀32

2.3.10嵌段聚合物组装模板35

2.3.11软模板复型37

2.3.12氧化法制多孔氧化铝模板40

2.3.13电铸法42

2.3.14原子力显微镜刻蚀44

2.4模板检测的方法45

2.4.1扫描电子显微镜45

2.4.2原子力显微镜48

2.4.3小角度X射线散射52

2.4.4光学显微镜53

2.4.5模板结构的评价53

2.5有关模板的关键性技术问题54

2.6本章小结55

参考文献55

第3章 纳米压印光刻胶57

3.1概述57

3.2光刻胶材料的选择标准57

3.2.1成膜性能57

3.2.2压印性能58

3.2.3抗刻蚀性能60

3.3不同种类压印光刻胶61

3.3.1热压印光刻胶61

3.3.2紫外压印光刻胶65

3.3.3步进压印光刻胶71

3.3.4滚动式压印光刻胶75

3.3.5微接触印刷77

3.4本章小结77

参考文献77

第4章 纳米压印工艺80

4.1概述80

4.2模板处理81

4.2.1黏附发生机理81

4.2.2模板清洗83

4.2.3模板修饰与表征84

4.3涂胶94

4.3.1转速对膜厚的影响96

4.3.2旋涂时间对膜厚的影响97

4.3.3聚合物黏度对膜厚的影响98

4.4压印技术98

4.4.1热压印99

4.4.2紫外压印106

4.4.3软刻蚀技术113

4.4.4大面积纳米压印121

4.4.5多层压印中的对准134

4.5工艺发展141

4.5.1快速热压印工艺141

4.5.2紫外压印-光刻联合技术142

4.5.3反向纳米压印技术143

4.5.4三维纳米压印技术144

4.5.5功能材料压印技术145

4.6本章小结147

参考文献148

第5章 刻蚀152

5.1概述152

5.2湿法刻蚀154

5.3干法刻蚀156

5.3.1离子束刻蚀157

5.3.2等离子刻蚀158

5.3.3反应离子刻蚀158

5.3.4高密度等离子体刻蚀163

5.4剥离技术166

5.5纳米压印图形化后的干法刻蚀167

5.6本章小结172

参考文献172

第6章 纳米压印技术在发光二极管上的应用174

6.1概述174

6.2光子晶体在提升LED出光效率中的理论分析和结构设计175

6.2.1有限时域差分法175

6.2.2光子晶体在提升LED出光效率中的理论分析178

6.2.3光子晶体结构在提升LED出光效率中的结构设计180

6.3压印与LED工艺兼容性设计200

6.3.1 LED芯片制造工艺流程200

6.3.2纳米压印工艺与LED兼容性方案200

6.4纳米压印制作光子晶体LED203

6.4.1 ITO光子晶体203

6.4.2 GaN光子晶体204

6.4.3 Al2 O3光子晶体204

6.4.4倒装结构207

6.5 LED芯片的封装与测试208

6.5.1 LED芯片封装技术208

6.5.2 LED性能参数208

6.5.3压印制作p-GaN光子晶体LED的性能209

6.6本章小结215

参考文献215

第7章 纳米压印工艺在制作相变存储器件上的应用217

7.1概述217

7.2相变材料及阵列制备相关技术研究219

7.2.1相变材料薄膜相结构转变特性研究220

7.2.2相变材料薄膜黏附力特性研究220

7.3相变材料薄膜上存储单元阵列制备技术研究227

7.3.1微米级存储阵列227

7.3.2纳米级存储阵列233

7.4沉积法存储单元阵列制备技术研究235

7.5纳米压印在其他存储器上的应用237

7.6本章小结238

参考文献239

第8章 纳米压印技术在其他领域的应用241

8.1概述241

8.2太阳能电池241

8.2.1光子晶体提高光吸收242

8.2.2纳米阵列提高界面比例和传输效率242

8.2.3纳米结构的减反245

8.3场效应晶体管246

8.4光学元器件247

8.5生物芯片249

8.6仿生领域251

8.7微型燃料电池252

8.8本章小结254

参考文献254