图书介绍

泛结构化微机电系统集成设计方法2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

苑伟政，常洪龙著著
出版社：西安：西北工业大学出版社
ISBN：9787561227589
出版时间：2010
标注页数：218页
文件大小：37MB
文件页数：226页
主题词：微电机－系统设计

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图书目录

第1章绪论1

1.1 微机电系统简介1

1.2 微机电系统设计工具及设计方法简介2

1.3 结构化MEMS设计方法及面临的挑战3

1.4 泛结构化MEMS集成设计方法的提出5

1.5 小结5

参考文献5

第2章泛结构化MEMS集成设计方法的理论体系7

2.1 引言7

2.2 集成设计体系7

2.3 分层设计体系9

2.4 柔性设计体系12

2.5 创成设计体系13

2.6 三维设计体系14

2.7 小结15

参考文献15

第3章分层设计体系及实现技术16

3.1 引言16

3.2 系统级设计16

3.3 器件级设计37

3.4 工艺级设计49

3.5 小结64

参考文献64

第4章柔性设计体系及实现技术66

4.1 引言66

4.2 系统级网表到工艺级二维版图的转换方法66

4.3 系统级网表到器件级三维实体的转换方法71

4.4 器件级三维实体到工艺级二维版图的转换方法72

4.5 器件级到系统级的宏建模转换方法81

4.6 工艺级二维版图到器件级三维实体的转换方法81

4.7 工艺级二维版图到系统级模型的转换方法84

4.8 小结88

第5章创成设计体系及实现技术89

5.1 引言89

5.2 系统级创成式设计89

5.3 器件级创成式设计110

5.4 工艺级创成式设计112

5.5 小结113

参考文献113

第6章宏建模方法及应用114

6.1 引言114

6.2 模型降阶的数学描述114

6.3 线性MEMS系统宏建模方法116

6.4 几何非线性MEMS系统宏建模方法128

6.5 多域耦合MEMS宏建模方法133

6.6 参数化模型降阶方法140

6.7 宏建模方法的应用147

6.8 小结179

参考文献179

第7章三维设计体系及实现技术183

7.1 引言183

7.2 系统级的三维设计183

7.3 器件级的三维设计184

7.4 工艺级的三维设计185

7.5 小结187

参考文献187

第8章集成设计体系及实现技术188

8.1 引言188

8.2 集成设计工具的架构188

8.3 集成设计环境的实现190

8.4 小结194

第9章设计工具应用及器件设计实例195

9.1 引言195

9.2 平面解耦式z轴陀螺195

9.3 音叉电容式微机械陀螺200

9.4 平面单轴加速度计205

9.5 z轴加速度计209

9.6 微型压力传感器215

9.7 小结218