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1.1 真空及其特点1

1.2真空泵性能的表示法1

1 引论1

1.3真空泵的分类3

1.4真空泵的技术术语、用途和使用范围4

1.5真空泵的型号及规格表示法5

2液环式真空泵8

2.1 液环泵的工作原理及特点8

2.2液环泵的基本类型与结构9

2.3液环泵的设计计算11

2.4液环泵的计算实例19

2.5液环泵的使用与注意事项20

3.2往复泵的结构和工作原理22

3.3往复泵的主要性能参数22

3往复式真空泵22

3.1 概述22

3.4往复泵气阀的设计27

3.5往复泵设计中的几个问题31

4旋片式油封机械泵35

4.1 概述35

4.2旋片泵的工作原理与结构特点35

4.3性能参数及主要几何尺寸的确定39

4.4气镇量的计算44

4.5旋片泵的运行和维护46

5.1 概述49

5.2滑阀泵的工作原理和结构特点49

5滑阀式油封机械泵49

5.3滑阀泵性能参数和主要几何尺寸的确定52

11.5蒸汽喷射泵的设计计算 154

5.4滑阀泵的质量平衡与减振54

5.5 机械泵油55

6罗茨式真空泵59

6.1 概述59

6.2 罗茨泵的工作原理及其结构特点59

6.3 罗茨泵的主要参数确定63

6.4 罗茨泵的转子型线71

6.5抽气速率的计算方法75

6.6 罗茨泵的主要尺寸的确定80

6.7罗茨泵的计算举例81

7.1 概述85

7爪式真空泵85

7.2爪式泵的工作原理86

7.3爪式泵转子的理论型线87

7.4爪式泵几何抽速的计算90

7.5爪型转子质心的计算94

7.6爪式泵的性能及结构特点95

7.7爪式泵的特点96

8涡旋式真空泵99

8.1 概论99

8.2涡旋泵的工作原理99

8.3涡旋泵抽气性能的计算100

8.4密封部位的泄漏量108

8.5涡旋泵的主要性能参数111

9分子真空泵113

9.1 概述113

9.2牵引分子泵的抽气原理与结构特点114

9.3多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理117

9.4涡轮分子泵的抽气原理及结构特点124

9.5涡轮分子泵抽气性能的计算133

10水喷射泵141

10.1 概述141

10.2水喷射泵的工作原理与结构141

10.3水喷射泵的设计与计算方法143

10.4水喷射泵的安装形式145

11.2蒸汽喷射泵的工作原理146

11.1 概述146

11蒸汽喷射泵146

11.3蒸汽喷射泵的结构与组成149

11.4蒸汽喷射泵的安装形式153

11.6蒸汽喷射泵抽气时间的计算162

12油扩散泵163

12.1 概述163

12.2油扩散泵的工作原理163

12.3油扩散泵的结构特点165

12.4油扩散泵的性能参数169

12.5扩散泵油的特性及返油170

12.6扩散泵系统使用中的故障分析及处理172

13.1概述174

13.2油扩散喷射泵的工作原理与结构特点174

13油扩散喷射泵174

13.3油扩散喷射泵的抽气特性178

13.4增压泵油及降低返油的措施180

14低温泵181

14.1概述181

1 4.2低温泵的抽气原理和分类181

14.3低温泵的抽速183

14.4低温泵的极限压力186

14.5低温泵的其他参数188

14.6现代低温泵的结构及设计190

15溅射离子泵199

15.1概述199

15.2溅射离子泵的工作原理199

15.3溅射离子泵的设计201

15.4溅射离子泵的使用与维护210

16其他类型真空泵212

16.1分子筛吸附泵212

16.2钛升华泵216

16.3电离升华泵220

16.4非蒸散型吸气泵222

17真空泵流量的测量方法228

17.1流量喷嘴法228

1 7.2转子流量计法231

17.3定容法232

1 7.4定压法232

17.5压差法234

参考文献236