图书介绍

微电子制造科学原理与工程技术2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

（美）坎贝尔（Campbell，S.A.）著（明尼苏达大学电子与计算机工程系）著
出版社：北京：电子工业出版社
ISBN：7505386263
出版时间：2003
标注页数：604页
文件大小：106MB
文件页数：626页
主题词：微电子技术－高等学校－教材－英文

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图书目录

第1篇综述与题材3

第1章微电子制造引论3

第2章半导体衬底10

第2篇单项工艺1：热处理和离子注入39

第3章扩散39

第4章热氧化68

第5章离子注入98

第6章快速热处理127

第3篇单元工艺2：图形转移151

第7章光学光刻151

第8章光刻胶183

第9章非光学光刻技术205

第10章真空科学和等离子体236

第11章刻蚀258

第4篇单项工艺3：薄膜295

第12章物理淀积：蒸发和溅射295

第13章化学气相淀积326

第14章外延生长355

第5篇工艺集成401

第15章器件隔离、接触和金属化401

第16章 CMOS技术439

第17章 GaAs工艺技术471

第18章硅双极型工艺技术488

第19章微机电系统514

第20章集成电路制造559

附录Ⅰ 缩写与通用符号580

附录Ⅱ 部分半导体材料性质585

附录Ⅲ 物理常数586

附录Ⅳ 单位转换因子588

附录Ⅴ 误差函数的一些性质591

附录Ⅵ F数595

附录Ⅶ SUPREM指令597

索引599