图书介绍

薄膜技术与应用2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

冯丽萍，刘正堂编著
出版社：西安：西北工业大学出版社
ISBN：9787561247396
出版时间：2016
标注页数：222页
文件大小：28MB
文件页数：231页
主题词：薄膜技术

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图书目录

第1章真空技术基础1

1.1 真空的基本知识1

1.2 稀薄气体的性质4

1.3 真空的获得9

1.4 真空的测量21

习题30

第2章真空蒸发镀膜32

2.1 真空蒸镀原理32

2.2 蒸发加热方式及蒸发源37

2.3 真空蒸镀工艺42

2.4 真空蒸镀应用举例42

习题48

第3章分子束外延生长49

3.1 分子束外延的原理及特点49

3.2 分子束外延设备50

3.3 MBE生长53

3.4 MBE方法制备的材料及其器件应用57

习题59

第4章溅射镀膜60

4.1 溅射镀膜的特点60

4.2 溅射的基本原理61

4.3 溅射特性67

4.4 溅射原子的能量分布和角分布75

4.5 溅射过程79

4.6 溅射方法82

4.7 溅射镀膜的实例98

习题110

第5章激光脉冲沉积111

5.1 激光脉冲沉积镀膜原理111

5.2 工艺参数对PLD镀膜质量影响112

5.3 脉冲激光沉积的优缺点113

5.4 脉冲激光沉积的种类及应用114

习题120

第6章离子镀和离子束沉积121

6.1 离子镀121

6.2 几种典型的离子镀方式130

6.3 离子束沉积137

6.4 应用实例143

习题145

第7章化学气相沉积146

7.1 CVD沉积基本原理147

7.2 常用的化学气相沉积方法160

7.3 CVD应用镀膜实例173

习题176

第8章原子层沉积（ALD）镀膜177

8.1 ALD的原理177

8.2 ALD的技术特征及优点179

8.3 ALD的种类182

8.4 ALD的应用举例186

习题190

第9章溶液镀膜法192

9.1 电镀技术192

9.2 化学镀193

9.3 溶胶-凝胶（Sol-Gel）法194

9.4 阳极氧化法195

9.5 LB技术197

9.6 溶液镀膜法应用举例200

习题202

第10章自组装膜203

10.1 自组装技术203

10.2 自组装单分子膜205

10.3 层层自组装多层膜209

10.4 自组装膜制备的影响因素211

10.5 自组装膜的表征213

10.6 自组装膜应用214

习题215

参考文献217