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第1章 绪论2

一、表面处理的意义2

二、表面处理的应用3

三、表面处理的分类11

四、技术选用考量因素15

五、结语17

第2章 基本设备22

一、温度的量测22

二、真空系统37

第3章 认识电浆60

一、电浆的产生60

二、电浆的特性70

三、电浆的化学反应75

四、电浆在表面技术上的应用76

第4章 物理蒸镀86

一、热力学86

二、气体动力学89

三、蒸镀94

四、蒸镀设备100

五、合金蒸镀111

六、化合物蒸镀114

七、应用119

第5章 溅射镀膜130

一、前言130

二、粒子的撞击132

三、动能的转移133

四、撞击效应134

五、溅射的方法136

六、溅射系数137

七、溅射镀膜技术141

八、靶材152

九、溅镀和热蒸镀的比较154

十、应用155

第6章 化学气相蒸镀162

一、前言162

二、化学问题164

三、热力学的问题170

四、化学动力学的问题173

五、CVD设备及系统179

六、应用195

第7章 液相表面处理206

一、前言206

二、前处理207

三、无极电镀212

四、取代反应221

五、化成被覆222

六、电镀225

七、阳极处理254

八、电铸260

九、废水处理262

十、结语264

第8章 薄膜的成长及微结构270

一、前言270

二、表面前清理271

三、薄膜的成长274

四、微结构286

五、磊晶291

第9章 薄膜特性及量测298

一、前言298

二、厚度298

三、薄膜特性304

四、表面分析仪器311

五、其他表面分析仪器322

第10章 表面蚀刻及微机电系统330

一、图样化及蚀刻330

二、微机电系统340

三、矽制程343

第11章 奈米技术370

一、奈米材料370

二、奈米科技发展史371

三、奈米合成和表面技术374

四、奈米材料之特徵380

五、奈米科技之应用388

六、结语402

第12章 表面的物理化学性质406

一、前言406

二、表面张力407

三、电湿414

四、L-B薄膜421

附录429

中英名词对照433

索引441