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第1章 分析电子显微方法的基础知识1

1．1 电子与物质的相互作用1

1．1．1 电子的散射1

1．1．2 描述电子散射的基本参量2

1．1．3 散射过程的模拟6

1．2 电子的非弹性散射和分析电子显微方法7

1．2．1 电子能量损失谱（EELS）分析方法和X射线能谱（EDS）分析方法的概述7

1．2．2 分析电子显微方法和材料评价10

1．3 仪器的计算机控制和分析数据的计算机处理12

参考文献13

第2章 分析电子显微镜的构成和基本操作15

2．1 分析电子显微镜的基本结构15

2．1．1 电子枪16

2．1．2 高压发生器和加速管21

2．1．3 照明透镜系统和偏转系统23

2．1．4 试样台和试样架24

2．1．5 放大和成像透镜系统27

专栏29

1）电子透镜的工作原理29

2．1．6 观察室和照相室（记录系统）32

2．2．1 各种透镜的合轴调整和消像散42

2．2 电子显微镜的基本操作42

2）高压颤动器和像颤动器46

2．2．2 物镜聚焦的调整47

参考文献49

第3章 电子能量损失谱（EELS）分析方法50

3．1 电子的非弹性散射和EELS50

3．2．2 谱仪的光学系统52

3．2 EELS的谱仪52

3．2．1 能量色散52

3．2．3 串行探测方式和并行探测方式53

3．2．4 杂散磁场的校正55

3．3 EELS的分析技术56

3．3．1 加速电压56

3．3．2 接收角58

3．3．3 分析模式58

3．4 EELS的理论基础59

3．5．1 等离子激发的谱65

3．5 能量损失谱的解析65

3．5．2 非弹性散射平均自由程的测量和试样厚度的确定67

3．5．3 内壳层电子激发谱70

3．6 能量过滤方法的原理和应用81

3．6．1 能量过滤器的光学系统81

3）能量过滤器的像差和单色性83

3．6．2 能量过滤器的种类和特点84

3．6．3 能量过滤方法的应用85

参考文献93

第4章 X射线能谱（EDS）分析方法95

4．1 特征X射线的产生95

4）表示电子能量状态的量子数96

4．2 X射线探测器的种类和原理98

4．2．1 铍窗口型98

4．2．2 超薄窗口型98

4．3．3 峰/背比（P/B）101

4．3．2 空间分辨率101

4．3．1 X射线的测量101

4．3 EDS的分析技术101

4．3．4 元素的面分布分析方法102

4．4．1 K因子103

4．4 定量分析103

4．4．2 定量分析实验105

4．5 定量分析时的注意事项106

4．5．1 试样对X射线的吸收106

4．5．2 统计误差107

4．5．4 晶体试样分析时的注意事项108

4．5．3 逃逸峰、合峰等108

4．6 原子位置确定的通道增强微分析（ALCHEMI）方法113

4．6．1 ALCHEMI的原理113

4．6．2 用ALCHEMI确定位置占有率116

4．6．3 ALCHEMI的精度和注意事项118

参考文献121

5．1．1 纳米束电子衍射方法123

5．1 电子衍射方法123

第5章 分析电子显微方法的周边技术123

5．1．2 会聚束电子衍射方法124

5）布拉格公式和高阶反射130

5．2 罗伦兹电子显微方法132

5．2．1 离焦方法132

5．2．2 正焦方法136

5．3 电子全息照相术138

5．3．1 电子全息照相术的原理138

5．3．2 用全息图像测量试样的厚度139

5．3．3 用电子全息照相术研究磁性142

6）三维信息和立体观察143

5．4．1 扫描电子显微镜的原理和应用144

5．4 扫描电子显微方法144

5．4．2 高角度散射暗场STEM方法148

5．5 试样制备方法150

5．5．1 粉碎和分散方法150

5．5．2 电解减薄方法150

5．5．3 化学减薄方法151

5．5．4 切片方法（超薄切片法）152

5．5．5 离子减薄方法152

5．5．6 全聚离子束（FIB）方法153

5．5．8 试样观察时的注意事项155

5．5．7 真空蒸涂方法155

参考文献156

附录1 物理常数、转换系数和电子波长等158

附录158

附录2 电子结合能和特征X射线的能量159

附录3 真空排气系统168

附录4 分析电子显微方法的有关计算机软件170

参考文献174

索引175