图书介绍

微电子工艺技术与仿真2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

王强主编；陆健，宋帅迪副主编著
出版社：镇江：江苏大学出版社
ISBN：9787568409865
出版时间：2018
标注页数：166页
文件大小：20MB
文件页数：174页
主题词：微电子技术

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图书目录

第1章半导体物理基础1

1.1 晶体学基础1

1.2 硅晶体结构及特点4

1.3 半导体的能带结构5

1.4 半导体的基本器件7

第2章晶体生长12

2.1 晶体生长理论12

2.2 硅材料12

2.3 晶体的提拉制程13

2.4 材料特征17

2.5 仿真基础21

第3章氧化/扩散工艺31

3.1 扩散原理31

3.2 热氧化32

3.3 扩散37

3.4 仿真44

第4章光刻工艺53

4.1 涂胶工艺53

4.2 曝光工艺57

4.3 显影工艺62

4.4 湿法刻蚀64

4.5 湿法刻蚀仿真65

第5章薄膜淀积68

5.1 化学气相淀积68

5.2 物理气相淀积77

5.3 外延生长83

5.4 仿真基础85

第6章等离子体工艺91

6.1 等离子体91

6.2 离子注入系统93

6.3 离子分布与阻滞96

6.4 离子注入损伤与退火98

6.5 离子注入工艺100

6.6 离子刻蚀101

6.7 等离子体刻蚀工艺102

6.8 仿真基础104

第7章工艺整合119

7.1 净化室119

7.2 微电子工艺流程简介120

7.3 晶体管制造技术123

7.4 金属化工艺125

7.5 钝化工艺125

7.6 PN结125

7.7 双极型晶体管129

7.8 CMOS电路133

第8章太阳能电池142

8.1 工作原理142

8.2 影响太阳能电池效率的因素143

8.3 多晶体硅太阳能电池工艺145

8.4 黑硅太阳能电池制备153

8.5 太阳能电池仿真160

参考文献164