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1光学薄膜的基本性质和设计方法1

1.1光学薄膜的光学性质1

1.1.1薄膜光学的理论基础1

1.1.2光学薄膜的吸收7

1.1.3吸收对光学薄膜性能的影响11

1.1.4光学薄膜的散射15

1.1.5光学薄膜的不均匀性36

1.1.6光学薄膜的各向异性47

1.1.7光学薄膜的偏振特性56

1.1.8光学薄膜的相位延迟75

1.1.9光学薄膜的群延迟及群延迟色散85

参考文献94

1.2光学薄膜的力学性质96

1.2.1薄膜应力的形成及分类97

1.2.2薄膜内应力的力学模型99

1.2.3薄膜应力的微观力学模型100

1.2.4沉积工艺对光学薄膜应力的影响102

1.2.5多层膜应力113

1.2.6光学薄膜应力发展的实时监测118

1.2.7光学薄膜的应力破坏132

参考文献134

1.3光学薄膜的设计136

1.3.1光学薄膜的分析设计136

1.3.2光学薄膜自动设计154

1.3.3膜系设计实例159

参考文献161

2几类特殊的光学薄膜163

2.1紫外光学薄膜163

2.1.1紫外光及紫外光学薄膜的一般特性163

2.1.2影响紫外高反膜光学性能的主要因素168

2.1.3几种紫外激光薄膜173

参考文献216

2.2极紫外和软X射线薄膜217

2.2.1软X射线多层膜设计的基本理论218

2.2.2软X射线及极紫外薄膜的一般设计结果225

2.2.3多层膜的性能分析234

2.2.4软X射线多层膜反射镜的研制242

2.2.5性能测试244

2.2.6几种反射膜的研制248

2.2.7软X射线多层膜分光元件的研制256

2.2.8反射型软X射线位相光栅的研制259

参考文献260

2.3介质膜光栅262

2.3.1多层介质膜光栅262

2.3.2多层介质膜光栅的衍射特性分析274

2.3.3多层介质膜脉冲压缩光栅的优化设计282

2.3.4介质膜光栅中的导模共振290

参考文献332

2.4雕塑薄膜333

2.4.1倾斜沉积雕塑薄膜的基本性质334

2.4.2有效介质理论介绍336

2.4.3雕塑薄膜的制备及结构特征342

2.4.4几种雕塑薄膜344

参考文献369

3光学薄膜在激光系统中的应用371

3.1概述371

参考文献374

3.2激光系统中的几类激光薄膜375

3.2.1反射膜375

3.2.2激光减反射薄膜379

3.2.3激光偏振膜390

3.2.4波长分离膜397

3.2.5高斯输出镜407

3.2.6负色散补偿反射镜422

参考文献441

3.3光学薄膜的激光破坏443

3.3.1激光对光学薄膜破坏的一般规律444

3.3.2激光对光学薄膜破坏的热过程分析448

3.3.3光学薄膜激光破坏的热力耦合460

3.3.4光学薄膜的缺陷破坏472

3.3.5光学薄膜中的节瘤缺陷497

3.3.6光学薄膜的非线性破坏529

3.3.7多脉冲激光对光学薄膜的破坏558

3.3.8真空环境下光学薄膜的激光破坏566

参考文献584

附录 各章节参考研究生论文题目589

索引592

致谢595