图书介绍

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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
  • RebeccaCheu著 著
  • 出版社： 北京：科学出版社
  • ISBN：9787030268624
  • 出版时间：2010
  • 标注页数：121页
  • 文件大小：26MB
  • 文件页数：129页
  • 主题词：半导体材料－微电子技术－研究

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图书目录

第1章　SiC MEMS概述1

1．简介1

2．SiC材料性能2

3．制作微机电（MEM）器件3

4．表面改性6

5．SiC MEMS的频率调谐8

6．MEMS的机械测试9

7．应用举例10

8．小结10

参考文献10

第2章　SiC MEMS沉积技术14

1．概述14

2．与SiC沉积相关的问题15

3．APCVD16

4．PECVD19

5．LPCVD20

6．LPCVD SiC薄膜的掺杂25

7．其他沉积方法27

8．小结28

参考文献28

第3章　与SiC接触开发相关的问题综述32

1．概述32

2．热稳定性32

3．p型SiC的欧姆接触43

4．使用Ni的欧姆接触51

5．肖特基接触缺陷的影响58

6．小结60

参考文献62

第4章　SiC的干法刻蚀68

1．概述68

2．等离子刻蚀基础69

3．SiC的等离子刻蚀74

4．等离子体化学76

5．掩膜材料78

6．近期发展及未来展望80

7．小结81

参考文献81

第5章　SiC MEMS的设计、性能和应用85

1．概述85

2．SiC MEMS器件91

3．结论和展望109

参考文献111

附录121

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